مکعب نیوبیوم حالت بازپخت شده- چیست؟
در مورد{0}}مکعب نیوبیم حالت بازپخت شده، پس از پردازش سرد و برش، مکعب نیوبیم مقدار زیادی تنش داخلی برش، نابجایی شبکه، ناخالصیهای جذب اکسیژن-هیدروژن و غیره را حفظ میکند.
برای حل این مشکل و از بین بردن این مشکلات، مکعب نیوبیوم تحت درمان حالت بازپخت شده- قرار می گیرد. مکعب نیوبیوم بازپخت شده-به مکعب تمام شده در اتمسفر هیدروژن با خلاء بالا/{3}}با خلوص بالا اشاره دارد که تحت 800 تا 1250 درجه بالا-عملیات حرارتی نگهدارنده دما، دمای آهسته{7}}سرد کردن کنترلشده، تکمیل چهار فرآیند کاهش فشار، کاهش مجدد فشار، و بازگرداندن فشارهای سطحی قرار میگیرد. و حذف اکسید، و سپس تبدیل به یک ماده تبخیر شده حالت نرم می شود. درجه تعیین شده برای OLED، اپتیک و پوشش تبخیر نیمه هادی بالا{10}}، متفاوت از مکعب نیوبیوم{11}}سرد بازپخت نشده{12}}حالت سخت شده است.
فرآیند آنیل استاندارد (مکعب های آنیل شده درجه پوشش خلاء)
1. اتمسفر: بازپخت در خلاء (بهتر از 1×10-3 Pa) یا بازپخت روشن هیدروژنی با خلوص بالا. جداسازی از هوا برای جلوگیری از جذب اکسیژن و اکسیداسیون در دماهای بالا
2. محدوده دما
◦ بازپخت تنش زدایی: 800-900 درجه، حذف تنش برش، حذف هیدروژن جذب شده سطحی و بخار آب
◦ تبلور مجدد کامل: 1050-1300 درجه، اندازه دانه را اصلاح کنید، ناخالصی های شبکه را کاملا آزاد کنید
3. فرآیند:-حفظ دمای بالا ← خنکسازی آهسته کنترلشده دمای گرادیان ← خنکسازی تا دمای اتاق در کوره ← چربیزدایی و تمیز کردن ← بستهبندی آببندی خلاء
مزایای هسته مکعبی نیوبیوم آنیل شده (توجه به نقاط درد پوشش خلاء)
1. گازهای داخلی را به طور کامل حذف کنید، با حجم تخلیه گاز حفره بسیار کم، تضمین پایداری خلاء بالا. در طول پردازش سرد نیوبیم، شبکه داخلی H2، N2 و مقدار کمی بخار آب را حفظ می کند. در طی بمباران دمای بالا{3}}پرتو الکترونی، تخلیه مداوم گاز رخ میدهد که باعث نوسانات سطح خلاء حفره و ظاهر سوراخها، مه، و تفاوتهای رنگی روی فیلم میشود.
گاز زدایی عمیق تحت بازپخت در دمای بالا تکمیل می شود: مقدار زیادی هیدروژن، آب جذب شده، و گازهای ناخالصی بین بافتی آزاد می شود که به طور قابل توجهی اوج خروج گاز از فرآیند تبخیر خلاء را کاهش می دهد، خلاء حفره پایدار را حفظ می کند، و به طور قابل توجهی بازده لایه لایه ای چندگانه را بهبود می بخشد. لایه ها
2. تنش پسماند برش را حذف کنید، بدون ترک یا پاشیدن در هنگام تبخیر در دمای بالا{1}}. نیوبیم سرد-سخت نشده، استرس داخلی متمرکزی دارد. در طی گرمایش موضعی در دمای بالا توسط پرتو الکترونی، تنش آزاد میشود که منجر به ترک خوردگی ذرات و پاشیدن زبالهها، آلوده شدن بوته و بستر، ایجاد تغییرات ناگهانی در ضخامت لایه و تسریع از دست دادن مواد هدف میشود. پس از بازپخت، شبکه دوباره پیکربندی میشود و تنش به طور کامل آزاد میشود و باعث میشود که مواد نرمتر و انعطافپذیرتر شوند. تحت بمباران پرتو الکترونی درازمدت-در دمای بالا، کل ماده به طور یکنواخت، بدون ترک یا تکه تکه شدن، گرم میشود، و نرخ تبخیر به صورت خطی پایدار است، با تکرارپذیری و ثبات در ضخامت لایه، مناسب برای خطوط تولید پانل پیوسته.
3. حذف لایه اکسید سطح، کاهش ناخالصی های اکسیژن در فیلم. نیوبیم در دمای اتاق به راحتی یک لایه اکسید Nb2O5 را تشکیل می دهد. تبخیر مواد خام بازپخت نشده باعث تبخیر همزمان اکسیدها می شود و در نتیجه محتوای اکسیژن بیش از حد در فیلم فلزی نیوبیم و کاهش رسانایی ایجاد می شود. هنگام تهیه فیلم های نوری Nb2O5، یک نوسان ضریب شکست و تغییر طیفی وجود دارد. بازپخت هیدروژنی میتواند لایه اکسید سطحی را بازیابی کند، بازپخت خلاء باعث میشود تا اکسیژن سطح به طور یکنواخت در بستر پخش شود و در نتیجه سطحی تمیز و بدون لایه اکسید آزاد، محتوای ناخالصی قابل کنترل در فیلم تبخیر شده، قوام دستهای قوی پارامترهای نوری و پارامترهای رسانا، و مناسب بودن{4} سازگاری لایهای با کیفیت بالا رسوب گذاری
4. پالایش دانه یکنواخت، هدایت حرارتی یکنواخت، نرخ تبخیر پایدار و قابل کنترل. دانههای نیوبیوم فرآوریشده سرد-منحرف شده و از نظر اندازه ناهموار هستند، با تفاوتهای قابلتوجهی در انتقال حرارت موضعی. در طی بمباران پرتو الکترونی، ذوب بیش از حد موضعی-یا تبخیر ناکافی رخ میدهد. پس از بازپخت، تبلور مجدد تکمیل میشود، ساختار ریز-هم محور، با رسانایی حرارتی متعادل در ذرات مکعبی تشکیل میشود، و کل دسته مواد در بوته به طور همزمان تبخیر میشوند و نیاز به تنظیم مکرر قدرت پرتو الکترونی را از بین میبرند، و فرآیند را کاهش میدهد. رسوب فیلم نیمه هادی
5. مقاوم در برابر خزش در دمای بالا، مستعد سقوط یا تغییر شکل در طول تبخیر طولانی مدت نیست. نیوبیوم آنیل شده انعطاف پذیری و پایداری ساختاری در دمای بالا{4}} را بهبود بخشیده است. بوته نرم نمیشود و پس از ماندگاری طولانی مدت در دمای بالا، فرو نمیریزد یا تودههایی تشکیل نمیدهد، و چگالی پر شدن بدون تغییر باقی میماند، و دفعات از کار افتادگی دستگاه برای پر کردن مواد را کاهش میدهد و نرخ استفاده از خط تولید را بهبود میبخشد. در مقایسه با نیوبیم سخت، عمر تبخیر مداوم بیش از 30٪ افزایش می یابد.
هنگامی که محصولات نیوبیوم آنیل شده را در مورد میله، صفحه، مکعب یا نقشه با نیازهای ویژه دارید، با ما تماس بگیرید.
