قیف تابیده تانتالیوم

در فرآیندهای پیشرفته مانند فاز بخار نیمه هادی Epitaxy (Epitaxy)، کاشت یون در دمای بالا (Ion Implantation) و کنترل سیال خلاء فوق العاده بالا، یکنواختی جریان گاز کانال جریان و راندمان انعکاس تابش حرارتی بسیار مهم است. در مواجهه با این نوع ساختار مخروطی مخروطی یا دو قیفی، نه تنها تلفات مواد زیاد است، بلکه درز جوش در کانال جریان داخلی نیز بسیار آسان است که جریان آرام (جریان لایه ای) را مختل کرده و باعث تمرکز تنش حرارتی موضعی می شود.

در سال 2026، ما نسل جدیدی از قطعات تانتالیوم با دقت سفارشی را راه اندازی خواهیم کرد. این محصول از 99.95% صفحه تانتالیوم با درجه خلوص{4} الکترونیکی 99.95% به عنوان ماده پایه استفاده می‌کند، و در یک مرحله توسط فرآیند پیشرفته CNC Power Spinning شکل می‌گیرد که کاملاً سازگاری منحنی گرادیان و ضخامت دیواره بسیار بالا را در نظر می‌گیرد.

I. مزایای فناوری اصلی (مزایای مهندسی نخبگان)

پروفیل های جریان بدون درز و اصطکاک صفر (پروفیل های جریان بدون درز برای مثال، سطح قوس مقعر آینه (بازتاب خوب) می تواند عملکرد آیرودینامیکی عالی و نرخ انباشت ذرات بسیار پایین را در هنگام استفاده به عنوان منحرف کننده گاز یا صفحه تابش حرارتی ارائه دهد.

ساختار دانه ایزوتروپیک و مقاومت در برابر شوک حرارتی: تانتالوم در حین ریسندگی سرد مستعد سخت شدن است. از طریق فناوری متناوب "تغییر شکل سبک چند پاسی و بازپخت با خلاء فوق‌العاده{2} میانی (UHV Annealing)"، ما به طور موثر تنش برشی تغییر شکل باقیمانده را حذف می‌کنیم، به طوری که قطعات قالب‌گیری شده دارای چقرمگی عالی بوده و هرگز به ترک خوردگی یا تاب برداشتن در زیر درجه حرارت 150 نخواهند بود.

جوش مونتاژ با دقت بالا-(جوشکاری نقطه ای CNC): همانطور که در شکل نشان داده شده است، قسمت چرخان دقیقاً مونتاژ شده و با چهار-قاب تکیه گاه حلقه فک جوش داده شده است. ما یک فناوری جوش نقطه‌ای ویژه با کنترل انرژی میکرو{3}}ناحیه‌ای را برای دستیابی به همجوشی در حین فشرده‌سازی ناحیه متاثر از حرارت جوش (HAZ) تا سطح میکرون اتخاذ می‌کنیم و کاملاً تبلور مجدد و شکنندگی ناشی از گرمایش موضعی را حذف می‌کنیم.

III. کنترل دقیق ترکیب شیمیایی (وزن مشخصات شیمیایی)

به منظور جلوگیری از شکستگی لغزش مرز دانه ناشی از ناخالصی‌های میکروسکوپی در طول تغییر شکل چرخشی، محدودیت‌های هسته سخت را بر روی عناصر گازی که نقش کلیدی در استحکام کششی دارند، اعمال کرده‌ایم:

Ta (خلوص عنصر اصلی): بیشتر یا مساوی 99. 95%

O (اکسیژن): کمتر یا مساوی 0. 015% N (نیتروژن): کمتر یا مساوی 0. 010% H (هیدروژن): کمتر یا مساوی 0. 0015%

C (کربن): کمتر یا مساوی 0. 010% Fe (آهن): کمتر یا مساوی 0. 010% Nb (ناخالصی نیوبیم): کمتر یا مساوی 0. 050%

IV. جریان پردازش پیشرفته

خالی کردن ویفر و تشخیص عیب میکروسکوپی: برش ویفر CNC با ورق ASTM B708 ​​با خلوص بالا انجام می‌شود و تشخیص جریان گردابی سطح 100% انجام می‌شود تا اطمینان حاصل شود که هیچ نقص لایه‌برداری ماکروسکوپی وجود ندارد.

چند{0}}ریسندگی سرد چند پاس (ریسندگی فلز): در یک ماشین ریسندگی CNC ویژه، از روتور آلیاژی مقاوم در برابر سایش{1} ویژه استفاده می‌شود تا لایه به لایه با پرس هماهنگ شود تا نرخ تغییر شکل را تنظیم کند.

بازپخت ابر کریستالی با خلاء بالا: آنیل کردن در خلاء 10-4Pa در حدود 1100 درجه برای همسان سازی مجدد دانه ها و حذف سخت شدن، و به دنبال آن چرخش زیر ریز بعدی.

ترکیبی از قطعات پشتیبانی داخلی و جوشکاری نقطه‌ای میکرو-: ماشین‌کاری دقیق لیزری مشبک داخلی یا قطعات حلقه‌ای، -بسته‌بندی درجا و جوشکاری با حرارت ورودی کم-.

پولیش شیمیایی و بسته بندی تمیز اولتراسونیک{0}}(استاندارد تحویل درجه نیمه هادی).

V. برنامه‌های کاربردی-برش مرزی- (برنامه‌های{3}}با ارزش بالا)

ورودی‌های گاز اپیتاکسی (ورودی‌های گاز اپیتاکسی): در حفره MOCVD یا دمای بالا{0}}CVD، به عنوان جمع‌کننده اسپری، مخروط راهنما یا گلوگاه ونتوری برای گازهای خورنده با دمای بالا عمل می‌کند.

اجزای خط پرتو (اجزای خط پرتو): در کاشت‌کننده‌های یون نیمه‌هادی با انرژی بالا-به‌عنوان مخروط‌های محافظت در برابر تشعشع با دمای بالا عمل می‌کنند تا بمباران پرتوهای الکترونی/یونی با انرژی بالا را مسدود کنند.

سپرهای تشعشعی برای کوره‌های با دمای بالا-خلاء-: لوله‌های عایق حرارتی سوراخ مشاهده هسته یا دستگاه‌های مسدودکننده سرریز حرارتی خط خلاء برای کوره‌های خلاء فوق‌العاده{-بالا-در آزمایشگاه‌ها.